光刻机是什么?
光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机的种类可分为:接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光。
光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上。然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。光刻机的制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,因此,世界上只有少数厂家掌握。
上一篇:五万美金等于多少人民币?
下一篇:廿是什么意思?
华为GT2pro ECG版 46mm 金卡限定版 成色完美大...
苹果11 128G 黑色 十新大全套
Apple iPhone 15 Plus (A3096) 支...
惠普(HP) M429fdn A4黑白激光多功能一体机 打印...
得力(deli)珊瑚海三联二等分电脑打印纸 彩色针式打印纸S...
OPPO Reno5 Pro 5G 6400万人像四摄 65...
荣耀50 1亿像素超清影像 5G手机 6.57英寸超曲屏 6...
联想(Lenovo)LJ2206W 黑白激光无线WiFi打印...